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    技術(shù)文章

    1200℃立式管式氣氛爐

    技術(shù)文章

    AFD系列立式管式氣氛爐的*設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對(duì)樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動(dòng)支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)狻⒀鯕狻⒀趸肌狈纸鈿獾葰怏w,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長、電測試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要!

    1200℃立式管式氣氛爐適用范圍:

     立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

    1200℃立式管式氣氛爐技術(shù)參數(shù):

    產(chǎn)品名稱

    1200度立式管式氣氛爐

    產(chǎn)品型號(hào)

    AFD1200-50

    爐管尺寸

    Φ50×1000mm

    溫區(qū)長度

    440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)


    恒溫區(qū)長
     

    200mm

    工作溫度

    1100℃(此溫度為加熱溫度)

    高溫度

    1200℃

    控溫方式

    智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

    控溫度

    ±1℃

    溫控保護(hù)

    具有超溫和斷偶保護(hù)功能

    加熱速率

    0~20℃/分

    加熱元件

    含鉬合金加熱絲

    工作電壓

    AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

    大功率

    3KW

    爐膛材料

    采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng)

    法蘭接頭

    標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥。

    密封系統(tǒng)

    該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

    真  空 度

    雙旋片機(jī)械泵:10^-2 torr
    分子泵機(jī)組:10^-5 torr


    供氣系統(tǒng)
     

    該爐配有浮子流量計(jì),客戶可通過浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量計(jì)控制氣體的流速。


    爐管材質(zhì)
     

    氣煉石英管


    氣  密  性
     

    4.03×10-3Pa

    測溫元件

    K型熱電偶測溫

    凈       重

    70KG

    提供相關(guān)配件

    氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞


    電氣認(rèn)證
     

    CE認(rèn)證


    售后服務(wù)
     

    12個(gè)月質(zhì)保、終身保修

    聯(lián)


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